气体管路要求：

所有气体管路都由高质量的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管（BA级）组成。铜管只使用在气体管路的末端，对气体纯度要求不是太严格的地方。（比如通风柜）。 

气体管道不得和电缆、导电线路同架铺设。 

易燃气体，如乙炔需要和其他气体分开单***引入。氢气管道若与其他可燃气体管道平行敷设时，其间距不应小于0.5M；交叉敷设时间距不应小于0.25M。分层敷设时氢气管道应位于上方。 

压缩空气在管路上有过滤杂质和水分的净化装置，此净化装置需要并联一路，用单***的阀门隔离，以方便对过滤装置进行维修。   高纯气体管路的连接为无缝焊接。连接到阀门或调节装置时才可以使用接头配件。 

  每个实验室都要有单***的控制阀、减压阀和压力表。 

   引到工作台的气体管路要安装单***的控制阀。工作台上要均匀排放各种气体的控制阀门。在氦气管路前面建议安装气体净化装置。   每隔1米左右，气体管路就需要有支架。另外根据气体管路弯曲的半径，设置合适的支架位置。所有弯曲处都要有支撑。气体管路所有的支架都要进行镀锌防腐处理。 

  不锈钢管件在现场安装时方可启封，启封后均要适用5N的高纯气体吹扫后才能接入系统。整个系统安装完成后，还要再使用5N的高纯氮气进行大流量吹扫，以确保整个系统的洁净度。

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